一、產(chǎn)品概述

SR系列膜厚傳感器提供快速、穩(wěn)定的膜厚在線量測解決方案。

二、產(chǎn)品特點

■ 操作簡便、小巧易安裝；

■ 高速、高分辨率；

■ 多款定制測頭滿足多場景需求；

■ 寬光譜涵蓋多膜厚需求應(yīng)用；

■ 適用在線膜厚量測與質(zhì)量評估；

■ 寬光譜實現(xiàn)多應(yīng)用場景需求。

三、測量原理

技術(shù)參數(shù)

 *1：用玻璃的折射率1.5計算

*2：用硅的折射率3.67計算

      *3：測量500 nmSiO2厚度的1σ

             *4：測量厚度大于30µm的Si膜的1σ

武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內(nèi)專業(yè)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測量設(shè)備研發(fā)、制造與銷售的高新技術(shù)企業(yè)，公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測量經(jīng)驗的專家聯(lián)合創(chuàng)辦，與華中科技大學(xué)緊密合作，是國內(nèi)橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域頗具優(yōu)勢的技術(shù)團(tuán)隊。

公司注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū)，立足光谷，面向全球，為科研和工業(yè)用戶提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。